2026年1月9日より、以下のとおり半導体パラメータアナライザーおよび小型イナートガスオーブンの運用を開始いたします。

[設置場所]

半導体パラメータアナライザー（Agilent B1500A）：総研棟６F 分析測定室

小型イナートガスオーブン（光洋サーモシステム株式会社、KLO-30NH）：FROM香川 クリーンルーム

[利用料金]

こちらをご参照ください。

HP＿利用料金

初回利用の際には、事前にデバイスセンタースタッフ（device-staff@googlegroups.com）までご連絡ください。

よろしくお願いいたします。