マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業において蓄積された構造化データの共用サービスとしてARIM Data Portal公開されておりますユースケース（Web版）に香川大学ARIMのユースケースが公開されました。

25GA0001_厚膜フォトレジスト（SU-8）の温度・粘度を用いた 膜厚予測

内容：香川大学ARIMでは厚膜フォトレジスト（SU-8）を用いたマイクロ流路デバイスの製作を数多く支援しています。流路の高さを精密に作りこむには、その鋳型となる厚膜フォトレジスト　の厚さを制御する必要があります。今回、厚膜フォトレジスト（SU-8）の温度・粘度と主回転数3000rpmで塗布した膜厚の関係をモデル化しました。

Use Casesリンク：https://nanonet.go.jp/data_service/sample_code.php?mode=detail&code=17

DataSetリンク：https://nanonet.go.jp/data_service/arim_data.php?mode=detail&code=161&key=X761T5dtys1Cxc2yC…

使用機器リンク：https://nanonet.go.jp/facility.php?mode=detail&code=1094

https://nanonet.go.jp/facility.php?mode=detail&code=1275

マテリアル研究への有用性及び将来性:

厚膜フォトレジスト（SU-8）の膜厚を予測可能となります。

名古屋大学の物質科学特別講義「マテリアル・プロセスインフォマティクスの基礎」の教材に使用されています。