香川大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
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新規導入装置のお知らせ
新規導入装置のお知らせ
2024.06.24
「
ウエハスピン現像装置
」「
光干渉式膜厚測定装置
」を導入し、運用を開始しています。
(装置名をクリックすると、ARIM Japanのページが開き、装置の詳細な情報が確認できます。)
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