香川大学 微細加工プラットフォーム
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業 実施機関
http://www.kagawa-u.ac.jp/nanoplatform/
「第３回 広島大学・山口大学・香川大学・FAIS 合同シンポジウム」が開催されます。
日時 ：2018年12月4日（火）
場所 ：西日本総合展示場 AIMビル3階
☆詳細はこちら
「バイオ＆ナノ・マイクロデバイス実践セミナー」が開催されます。
日時 ：2018年10月12日（金）
場所 ：東京大学 浅野キャンパス（本会場）
☆詳細はこちら
H30年度 技術スタッフ交流プログラムを開催いたしました。
日時 ：2018年8月22日（水）〜8月24日（金）
場所 ：香川大学創造工学部1号館1208室
FROM香川 メカトロ研究室
テーマ：「マイクロ流路デバイスの作製とデバイス内細胞培養」
「微細構造デバイス研究開発フォーラム平成29年度セミナー」が開催されます。
日時 ：2018年3月1日（木）
場所 ：香川頭脳化センタービル2階 一般研究室
☆詳細はこちら
「微細加工プラットフォームコンソーシアムシンポジウム」が開催されます。
日時 ：2018年3月9日（金）
場所 ：東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル5F 武田ホール
☆詳細はこちら
「第16回ナノテクノロジー総合シンポジウム(JAPAN NANO 2018」に参加します。
日時 ：2018年2月16日（金）
場所 ：東京ビッグサイト 会議棟レセプションホール
☆詳細はこちら へ
Webマガジン「NanotechJapan Bulletin Vol.10,No.6」の企画特集に記事が掲載されました。
☆詳細はこちら
2017年度 技術支援者集合研修に参加しました。
開催日 ：2017年11月21日（火）〜11月22日（水）
場 所 ：早稲田大学
第四回微細加工プラットフォーム 最優秀貢献賞を受賞しました。
(写真)
機器講習会を開催致します。
開催日 ：2017年10月20日（金） 13:00〜16:20
場 所 ：香川大学 林町キャンパス 社会連携・知的財産センター・総合研究棟
（高松市林町２２１７−２０）
参加申込：2017年10月18日（水）まで 定員4名
申込先 ：寺尾京平 香川大学微細構造デバイス統合研究センター
terao@eng.kagawa-u.ac.jp
主 催 ：香川大学 社会連携・知的財産センター ナノテクノロジー支援室
ビームテクノロジー＆ナノ加工実践セミナーが開催されます。
■座学コース
日時 ：2017年10月11日 13:00〜17:00
場所 ：東京大学 武田先端知ビル1F セミナー室
（Web配信可：北海道大学、東北大学、豊田工業大学、京都大学、大阪大学、山口大学、広島大学）
参加費：無料
■実習コース
日時・場所は実施機関によって異なります
詳細は案内ページをご覧ください。
参加申し込みはこちら へ
H29年度 技術スタッフ交流プログラムを開催いたしました。
日時 ：2017年9月19日〜22日
場所 ：FROM香川 メカトロ研究室
内容 ：櫛歯型静電アクチュエータの作製
H29年度 学生研修プログラムを開催いたしました。
日時 ：2017年8月28日〜30日
場所 ：香川大学 総合研究棟6F
内容 ：マスクレス露光装置を用いたフォトリソグラフィの実習
装置一覧 を更新しました。
JAPAN NANO 2017「第15回ナノテクノロジー総合シンポジウム」に参加します。
日時 ：平成29年2月17日（金）
場所 ：東京ビッグサイト 会議棟1階レセプションホール
詳細はこちら へ
平成28年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウムが開催されます。
日時 ：平成29年3月8日（水）13:00〜
場所 ：東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル5F 武田ホール
詳細はこちら へ
「装置一覧」のページを更新しました。
香川大学 機器講習会を開催致します。
日時 ：平成28年10月28日（金）13:00〜16:20
場所 ：香川大学 林町キャンパス 総合研究棟6F
申し込みは、寺尾京平 香川大学微細構造デバイス統合研究センターまで。
「第2回 広島大学・山口大学・香川大学・FAIS 合同シンポジウム」のプログラムが確定致しました。
日時 ：平成28年11月22日（火）12:50〜16:45
場所 ：山口大学 D11教室
詳細はこちら へ
山口大学からの遠隔講義が開催されます。
日時 ：平成28年9月26日（月）13:30〜15:00
場所 ：香川大学 林キャンパス 3号館2F 3201講義室
テーマ：『真空の世界』
講師 ：山口大学 栗巣先生
「センサー・MEMS実践セミナー」が開催されます。
日時 ：＜座学コース＞ 平成28年9月30日（金）13:00〜17:10
＜実習コース＞ 各実施機関の都合に合わせて決定される予定です。
場所 ：＜座学コース＞ 東京大学 武田先端知ビル 1F セミナー室
＜実習コース＞ 各実施機関
詳細はこちら
「第2回 広島大学・山口大学・香川大学・FAIS 合同シンポジウム」が開催されます。
日時 ：平成28年11月22日（火）12:50〜16:45
場所 ：山口大学 D11教室
「第2回 マイクロ‐ナノテクノロジー技術に関する日仏ワークショップ」が開催されます。
日時 ：平成28年11月8日（火）13:00〜19:00
場所 ：京都大学 吉田キャンパス 国際科学イノベーション棟 5F シンポジウムホール
詳細はこちら
装置一覧 を更新しました。
メンバーのページを更新しました。
メンバーのページを更新しました。
装置一覧 を更新しました。
利用規定を公開しました。
利用申請書のフォーマットを更新しました。
利用料金を公開しました。
「微細加工プラットフォームコンソーシアムシンポジウム」が開催されます。
日時 ：平成28年3月11日（金）
場所 ：東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル5F 武田ホール
詳細はこちら
「バイオ・MEMS実践セミナー」が開催されます。
日時 ：平成27年12月11日（金）
場所 ：東京大学 生産技術研究所 E棟501/502室
詳細はこちら
技術支援者交流プログラム（北海道大学）へ参加しました。
メンバーのページを更新しました。
装置一覧 を更新しました。
第3回技術支援者交流会（ウェットプロセス）に参加しました。
日時 ：平成27年6月18日（木）,19日（金）
場所 ：東北大学西澤潤一記念研究センター
香川大学人材育成プログラム「21世紀源内ものづくり塾」のMEMS実習を行いました。
日時 ：平成27年6月5日（土）,6日（日）
場所 ：FROM香川 メカトロ研究室
当日の様子はこちら 。
H27年度 ナノテクノロジープラットフォーム「学生研修プログラム」の公募を開始しました。
参加者応募Webサイトはこちら。
◆応募締切日 ： 5月29日（金）
メンバーのページを更新しました。
平成26年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウムが開催されます。
日時 ： 平成27年3月4日（水） 13：00〜19：00
場所 ： 東京大学生産技術研究所（駒場） コンベンションホール
参加費 ： 無料（意見交換会は有料）
詳細はこちら へ
平成26年度 中国地域ナノテクノロジープラットフォーム事業説明会を開催します。
日時 ： 平成27年2月27日（金） 14：00〜16：00
場所 ： 岡山大学 創立五十周年記念館 ２階大会議室
こちらからダウンロードできます。 チラシ (pdf file)
第13回ナノテクノロジー総合シンポジウム（JAPAN NANO 2015）へ参加しました。
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装置一覧 にマスクレス描画装置とデュアルイオンビームスパッタ装置を追加しました。
メンバーのページを更新しました。
装置一覧 に触針式表面形状測定器とDekTak8の装置紹介動画を追加しました。
H25年度MEMS実践セミナー（講義・実習）のお知らせ。
日時 ： 平成25年12月17日（火） 13：00〜17：20
場所 ： 東京大学 武田先端知ビル、東北大学 西澤潤一記念研究センター、京都大学にて３元中継開催。
また、北海道大学 電子科学研究所、香川県科学技術研究センターFROM香川にも同時配信されます。
お申し込み・お問合わせはこちら へ
香川大学で開催予定の実習の詳細はこちら へ
装置一覧 に白色干渉式三次元形状測定器の装置紹介動画を追加しました。
ナノテクノロジープラットフォーム 平成25年度成果報告会を開催します。
日時 ： 平成25年10月17日（木） 13：00〜19：00
場所 ： 東工大蔵前会館1階くらまえホール、ロイアルブルーホール
参加費 ： 無料（ポスターセッションと並行して行う意見交換会は有料）
詳細はこちら へ
微細加工プラットフォーム 中国・四国・九州合同シンポジウムを開催します。
日時 ： 平成25年11月20日（水） 10：30〜17：00
場所 ： 広島大学 霞キャンパス（広島市）
概要 ： 広島大学・山口大学・ＦＡＩＳ・香川大学が合同でシンポジウムを開催します。
こちらからダウンロードできます。 チラシ (pdf file)
平成25年度 学生研修プログラム成果発表会にて学生２名が発表を行いました。
日時 ： 平成25年8月30日（金）
場所 ： 物質・材料研究機構
研修概要 ： 参加者全員が研修成果をプレゼンテーションで報告する(15分〜20分程度)。
研修修了者に修了証を交付する。学生、研究者、技術者との交流会を実施する。
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平成25年度 学生研修プログラム（東北大学）に学生１名が参加しました。
テーマ ： Siメンブレン構造体の製作
ホスト ： 東北大学 戸津健太郎先生
研修概要 ： Si基板上にパターニングした熱酸化膜をマスクとして、KOH溶液によりSi結晶異方性エッチングを
行う。あらかじめボロン拡散により高濃度のP+層を形成しておき、エッチストップによって厚さ3μ
m程度のメンブレン構造体を形成する。真空中でガラス基板と陽極接合し、大気中におけるメンブ
レンの変形を確認する。
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応用物理・物理系学会 中国四国支部合同学術講演会にナノテクノロジープラットフォーム事業紹介のブースを出展しました。
日時 ： 平成25年7月27日（土）
場所 ： 香川大学工学部
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平成25年度 学生研修プログラム（京都大学）に学生２名が参加しました。
テーマ ： MEMS技術を用いたマイクロ流路の作製
ホスト ： 京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 松嶋朝明先生
香川大学ナノテクノロジー支援室 鈴木孝明准教授
（共同開催）
研修概要 ： 京都大学ナノテクノロジーハブ拠点保有の装置を用い微細加工技術を応用したマイクロ流路を作
製しその特性評価を行う。
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香川大学人材育成プログラム「21世紀源内ものづくり塾」のMEMS実習を行いました。
「21世紀源内ものづくり塾」についてはこちら のホームページをご覧下さい。
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弊学の支援事業をご利用頂いている造幣局様より「桜の通り抜け」へご招待頂きました。
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平成24年度 学生研修プログラム（京都大学）に学生１名が参加しました。
テーマ ： デバイス試作と評価
ホスト ： 京都大学 松嶋朝明先生
研修概要 ： ハブ施設を利用してマイクロ流路を試作・評価し、プロセス全般の流れを修得する。
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平成24年度海外研修（フランス・ベルギー）に技術支援員１名が参加しました。
訪問先 ： MINATEC（Grenoble,France）
IMEC（Leuven, Belgium）
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平成24年度 学生研修プログラム（名古屋大学）に学生１名が参加しました。
テーマ ： ナノバイオデバイスによる分子・細胞計測の基礎
ホスト ： 名古屋大学 馬場嘉信先生
研修概要 ： ナノ・マイクロデバイスを使ったバイオ分析の基本技術を習得する。デバイスのデザインと作製技
術、DNAの分離分析、細胞のイメージング実験などの実習を行い、ナノバイオ研究の基礎知識と
実験操作を学ぶ。
微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムワークショップ（東京大学）に参加しました。
日時 ： 平成25年3月11日（月）13：00〜19：30
場所 ： 東京大学生産技術研究所 An棟2Fコンベンションホール
招待講演 ： 「微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムに期待する（仮題）」
藤井 聡 氏（内閣官房参与）
基調講演 ： 「From Concept to Impact in an Open Innovation Partnership」
Prof. Dr. Jo De Boeck(Senior Vice President & CTO, IMEC)
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香川大学ナノテクノロジープラットフォーム・キックオフシンポジウムを行いました。
日時 ： 平成25年3月7日（木）12：00〜
場所 ： サンメッセ香川 2Ｆ大ホール
共催者挨拶 ： 濱田恵造 氏（香川県知事）
来賓挨拶 ： 永井雅規 氏（文部科学省）
特別講演１ ： 「明日の生活を変えるＭＥＭＳ（マイクロマシン）開発の最前線」
藤田博之 氏（東京大学 生産技術研究所 教授）
特別講演２ ： 「産学官のオープンイノベーションによるＭＥＭＳ産業の活性化」
今仲行一 氏（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター 所長）
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かがわ健康関連製品開発フォーラム第３回セミナー
「世界から”かがわ”マイクロものづくりを考える」にて講演とナノテクノロジープラットフォーム事業紹介を行いました。
日時 ： 平成25年2月13日（木）14：00〜16:30
場所 ： 香川産業頭脳化センタービル２階一般研修室
講演 ： 「かがわ発マイクロマシン技術」 鈴木孝明 准教授
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香川大学工学部 第8回先端工学研究発表会にて、ナノテクノロジープラットフォーム事業の説明会とハネル展示を行いました。
日時 ： 平成25年2月4日（月） 14：15〜14：30 説明会
14：00〜17：00 パネル展示）
場所 ： 香川大学工学部
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東京ビッグサイトで開催されたnano tech 2013 国際ﾅﾉﾃｸﾉﾛｼﾞｰ総合展・技術会議において、香川大学のＭＥＭＳ技術などを紹介した「かがわ健康関連製品開発地域」の展示が「日刊工業新聞社賞」を受賞しました。
「かがわの健康 MEMS to HEALTH, Kagawa」と題して、研究室からは「遺伝子解析・遺伝子導入デバイス」を紹介しました。
・nano tech 2013 国際ﾅﾉﾃｸﾉﾛｼﾞｰ総合展・技術会議 開催報告 [LINK]
・香川県 報道発表資料 [LINK]
関係者各位に御礼申し上げます。
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香川大学工学部 第8回先端工学研究発表会にて、ナノテクノロジープラットフォーム事業の説明会とハネル展示を行います。
（2013年2月4日（月） 14：15〜14：30 説明会
14：00〜17：00 パネル展示
詳細はこちら へ
微細加工プラットフォームのコーディネーター 香川大学訪問。
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かがわ健康関連製品開発フォーラム第３回セミナー
「世界から”かがわ”マイクロものづくりを考える」にて講演を行います。
（2013年 2月13日(水) 14：00〜17：00 開催予定）
「かがわ発マイクロマシン技術」 准教授 鈴木 孝明
詳細はこちら へ
山口大学 公開講座（特別講座）「真空技術の基礎と応用」にて講演を行います。
「マイクロ・ナノ加工技術とそのバイオ・光応用」 准教授 鈴木 孝明
（2013年1月25日（金）13：50〜15：10 講演予定）
詳細はこちら へ
情報誌「ＳＴＥＰねっとわーく」でナノプラットフォーム事業が紹介されました。
詳細はこちら へ
キックオフシンポジウム（サンメッセ香川）のチラシが完成しました。
（2013年3月7日（水）14時〜 開催予定）
こちらからダウンロードできます。 チラシ (pdf file) 参加申込書 (word file)
2013年2月4日（月）14時〜 香川大学工学部 第8回先端工学研究発表会を予定しています。
詳細は、近日、本HPにて公開します。
香川大学 材料-知能デバイス研究会にてナノプラットフォーム事業を紹介しました。
日時 ： 平成24年12月26日（火）13：00〜21：00
場所 ： 香川大学工学部
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微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム支援員研修会に出席しました。
日時 ： 平成24年12月20日（木）午後13時 〜 12月21日（金）午後12時
場所 ： 京都ロイヤルホテル＆スパ 麗峰の間
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文部科学省 香川大学訪問
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香川県産業技術センターHPとLINKしました。
2013年3月7日（水）午後に、キックオフシンポジウム（サンメッセ香川）を予定しています。
詳細は、近日、本HPにて公開します。
The 2nd Regional Innovation Strategy Symposiumにおいて，事業紹介を行いました。
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文部科学省，JST，センター機関によるサイトビジットが実施されました。
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ホームページを立ち上げました。
