香川大学　微細加工プラットフォーム

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事業概要

・ナノマイクロリソグラフィ装置
・ナノマイクロ成膜／エッチング装置
・ナノマイクロ材料分析／評価装置
　　※当該支援リスト外の装置も相談可
　　（電子・光・バイオ応用関連の装置もあります。）

装置の利用法は、各装置に精通した技術補助員による支援のもとで、
　①利用者自身での装置操作
　②技術代行
　③共同研究
の形式を選択できます

多岐にわたる多くの実績、技術を有する本学研究者群が、加工、評価に関する技術相談を承ります。

単一装置のみの利用から、複数装置の組み合わせ利用まで、幅広く対応します。研究・開発の進捗状況に応じて、適宜、利用形態を変更することも可能です。