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現在、香川大学MEMSは第３世代（２０１３年〜）を迎えております。
第１世代（２００３年〜２００７年）、第２世代（２００８年〜２０１２年）では、MEMS作製のために必須となる基盤技術を確立しました。各種の微細構造形成技術（リソグラフィ，深掘りエッチング，マイクロ金型 他）を確立するとともに、光マイクロデバイス、バイオマイクロデバイスへの応用を図り機能集積化デバイス作製技術を確立しました。アオイ電子株式会社との共同研究開発によりナノピンセットを製品化しました。
第３世代（MEMS3.0）では、“温故知新”の精神でMEMSによる新産業の創出を目指します。“温故”：第一期・第二期で確立・蓄積されたものづくり基盤技術や特徴ある技術（微細構造デバイス技術）など，強みとなる香川のコア技術を一層磨き上げます。
“知新”：集積化技術やナノ加工技術を取り入れ，最新の市場動向に沿った戦略的研究を実施し，未知領域の知見を拡げながら新しい産業分野を創出します。
香川大学MEMS3.0は、集積化とナノ領域の微細加工により従来技術に一層の付加価値を追求するとともに、工学以外の分野の研究者が参画して市場直結型のデバイス開発を目指します。
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「細胞化」は細胞に最接近することを含めて広義に用いています。香川大学MEMS3.0が目指す新産業の創出には、衣（ウェアラブル）・食（農水産）・住（ライフ）において細胞レベルでヒト、植物、生体に最接近することが不可欠です。香川大学が研究開発を進めるMEMSセンサは小型・軽量ゆえにウェラブルデバイスとしての応用が期待されます。触覚センサはヒトの手指の届かないところを、ヒトの感覚以上に繊細な感覚で“触覚”します。内視鏡先端部に装着して「細胞化」します。師管流・道管流センサは植物と「細胞化」して植物内水分・栄養分をセンシングしてIoT時代の新しい農業システムを構築します。細胞空間分画MEMSは1細胞・１分子操作解析技術を実現します。
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香川大学MEMSは細胞化して新産業を創出します。
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