香川大学工学部の石丸助教授研究グループが提案した「ITデバイス高効率生産のためのナノ異物除去技術に関する研究」が、文部科学省の「革新的な技術開発の提案公募」（ミレニアム・プロジェクト）に採択された。
　研究期間は平成13年度から平成15年度までであり、研究費は総額１億７千２百９０万円である。ミレニアム・プロジェクトは、故小渕首相が科学技術立国日本の再生を賭け発足した産学官の一大プロジェクトであり、本年度は全国から633件の応募があったが、28件しか採択されなかった難関である。
　IT産業の益々の発展を支えるための基幹部品である集積回路、液晶やプラズマ方式の平面ディスプレイの製造業が、米国は勿論、台湾、韓国など諸外国の勢力に対抗するための次世代生産技術の開発は国家を揚げての重要プロジェクトと言える。これら半導体プロセスでは、ナノオーダーの極微小な異物が製品に多大なダメージを与え、製品の高集積化、大画面化を阻害している。そこで、香川大研究グループでは、レーザを用いた立体形状計測技術と、マイクロマシンを用いたマニピュレーション技術を新たに開発し、更にそれらをシステム化することにより極微小粒子の操作を目指す。これにより、洗浄等により除去しきれない異物を確実に取り除き、生産性の飛躍的な向上を実現する。
　本研究グループは、この技術を基にナノ・インテリジェントマシンをシステム化した高付加価値製品を生みだし、香川に新たなる産業を創出することを目指している。