香川大学 微細加工プラットフォーム
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業 実施機関
http://www.kagawa-u.ac.jp/nanoplatform/
| 装置名 | 詳細 | 資料 | 動画 |
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| 電子線描画装置 | エリオニクス社製 ELS-7500EX 加速電圧：50kV，30kV，20kV フィールドつなぎ精度50nm 以下 |
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| マスクレス露光装置 | 大日本科研社製 MX-1204 光源：LD (375±5 nm) 描画精度：最小線幅 1 um程度 |
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| 装置名 | 詳細 | 資料 | 動画 |
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| ドラフトチャンバ （有機・無機）※ |
DALTON社製 ECD-1500BEW1-T（有機） BCD-1-1600BEW（無機） |
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| スピンコータ | ミカサ社製 1H-DX2 |
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| 片面マスクアライナ | ミカサ社製 MA-10型 |
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| 両面マスクアライナ※ | ズース・マイクロテック社製 MA6 / BA6 |
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| マグネトロン スパッタリング装置※ |
芝浦メカトロニクス社製 CFS-4EP-LL(!-Miller) |
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| 真空蒸着装置 | ＵＬＶＡＣ社製 VPC-1100 |
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デュアルイオンビーム スパッタ装置 |
ハシノテック社製 10W-IBS |
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| 酸化/拡散炉※ | DSL社製 VESTA-2100 |
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| シリコン深堀エッチング装置※ | SPPテクノロジーズ社製 MUC-21 ASE Pegasus |
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| 反応性イオンエッチング装置※ | サムコ社製 RIE-10NR |
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| イオンシャワー | エリオニクス社製 EIS-200ER |
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| ダイシングマシン | ＤＩＳＣＯ社製 DAD3220 ウエハ厚み:最大1mm以下 |
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| ワイヤボンダ※ | WEST・BOND社製 Model 7KE |
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| 装置名 | 詳細 | 資料 | 動画 |
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| 走査電子顕微鏡（ＥＤＳ付き） | ＪＥＯＬ社製 JSM-6060-EDS 加速電圧：30kV，EDS元素分析 |
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| 高倍率デジタル マイクロスコープ |
ハイロックス社製 KH-7700 |
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| ウエハプローバ | カール・ズース社製 PM5 |
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| 触針式表面形状測定器 | アルバック社製 DekTak8 測定分解能:最小:0.1nm 測定再現性:1nm以下 |
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| イオンコータ | ＪＥＯＬ社製 JFC-1600 |
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| エリプソメータ | 溝尻光学社製 DHA-XA/M8 膜厚と屈折率を測定可能 |
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| 白色干渉式三次元形状測定器 | ブルカー・エイエックスエス社製 NT91001A-in motion in-situ駆動観察 |
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| レーザー式三次元形状計測器 | 三鷹光器社製 NH-3N 測定分解能:0.1×0.1×0.01μm |
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| ４探針型薄膜抵抗率計 | エヌピイエス社製 KS-TC-40-SB-VR |
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※ 「※」が付く装置は香川県が保有する装置であり、使用条件が異なりますので、
お問い合わせ下さい。
※ 当該支援リスト外の装置（電子・光・バイオ応用関連の装置）もご利用頂くことが可能です。
