新着情報 - 香川大学マテリアル先端リサーチインフラ事業

文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）高度デバイス領域と東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）により、デバイス・プロセス開発におけるデータ利活用をテーマとした合同研究会が開催されます。先端加工技術や計測データ利活用の最新動向を共有し、デバイス・プロセス開発の高効率化、高度化に向けた課題と展望について議論されます。皆様、是非ご参加ください。 ■開催日間：2026年3月13日（金）13:30～※終了後交流会■会場：東京都中央区日本橋室町1丁目7-1 スルガビル7階■共催：文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）高度デバイス領域／東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）／MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）■参加費：無料（研修会終了後交流会参加費2,000円、MEMSPC 会員企業は1名無料）■内容：以下のPDFファイルをご参照ください■参加申込：以下GoogleForm または、事務局E-mailかFAXhttps://forms.gle/3qcFjsiPuyVxqwEY7（参加申込〆切：2026年3月6日）■問い合せ先（研究会事務局）：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）大高剛一/早川昌子koichi.ohtaka.e8@tohoku.ac.jpmasako.hayakawa.b1@tohoku.ac.jpTEL 022-229-4116 /FAX 022-229-4113

半導体デバイス・プロセス開発におけるデータ利活用をテーマとしたARIM 高度デバイス領域／μSIC合同研究会が開催されます

2026年1月9日より、以下のとおり半導体パラメータアナライザーおよび小型イナートガスオーブンの運用を開始いたします。 [設置場所]半導体パラメータアナライザー（Agilent B1500A）：総研棟６F 分析測定室小型イナートガスオーブン（光洋サーモシステム株式会社、KLO-30NH）：FROM香川クリーンルーム [利用料金]こちらをご参照ください。HP＿利用料金初回利用の際には、事前にデバイスセンタースタッフ（device-staff@googlegroups.com）までご連絡ください。よろしくお願いいたします。

【お知らせ】1/9運用開始_半導体パラメータアナライザー／小型イナートガスオーブン

マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業において蓄積された構造化データの共用サービスとしてARIM Data Portal公開されておりますユースケース（Web版）に香川大学ARIMのユースケースが公開されました。25GA0001_厚膜フォトレジスト（SU-8）の温度・粘度を用いた膜厚予測内容：香川大学ARIMでは厚膜フォトレジスト（SU-8）を用いたマイクロ流路デバイスの製作を数多く支援しています。流路の高さを精密に作りこむには、その鋳型となる厚膜フォトレジスト　の厚さを制御する必要があります。今回、厚膜フォトレジスト（SU-8）の温度・粘度と主回転数3000rpmで塗布した膜厚の関係をモデル化しました。 Use Casesリンク：https://nanonet.go.jp/data_service/sample_code.php?mode=detail&code=17DataSetリンク：https://nanonet.go.jp/data_service/arim_data.php?mode=detail&code=161&key=X761T5dtys1Cxc2yC…使用機器リンク：https://nanonet.go.jp/facility.php?mode=detail&code=1094https://nanonet.go.jp/facility.php?mode=detail&code=1275マテリアル研究への有用性及び将来性:厚膜フォトレジスト（SU-8）の膜厚を予測可能となります。名古屋大学の物質科学特別講義「マテリアル・プロセスインフォマティクスの基礎」の教材に使用されています。

ARIM Data Portal に香川大学ARIMのユースケース（Web版）が公開されました

下記の通り、微細構造デバイス統合研究センターとマテリアル先端リサーチインフラが主催するR7年度クリーンルーム利用規則説明会（学内利用者向け）を開催いたします。微細構造デバイス統合研究センター（総合研究棟6階）ならびにFROM香川の両施設において、設備・機器等を利用される学生・教職員の皆様は学年等を問わず「年一回の本講習会参加が必要」となります。「当日の受講」を原則としてお願いしておりますので、よろしくお願い申し上げます。令和7年12月以降のクリーンルーム利用者は【本講習会の受講】と【利用申請書(個人)のオンライン登録】が両方とも必要不可欠となっております。また、今年度から事前資料を準備しまして、講習前に閲覧いただくことにしております。何卒ご理解の程よろしくお願い申し上げます。－－－－－－－－－－－－－－－－　記　－－－－－－－－－－－－－－－－－◆クリーンルーム利用規則説明会　日時　：12/8（月）　15:00～17:00頃　　　　現地出席者の確認と講習内容の確認テストを実施　場所　：3号館(講義棟) 3303教室　　主催組織：微細構造デバイス統合研究センター　　　　　：香川大学マテリアル先端リサーチインフラ　【内容】　・クリーンルーム利用規則の説明と運用について　・クリーンルーム利用方法についての注意事項　・利用に関する手続きについて　・その他－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－

R7年度クリーンルーム利用規則説明会（学内利用者向け）開催のお知らせ