新着情報 - 香川大学マテリアル先端リサーチインフラ事業

香川大学のスタッフが取得したデータがARIM Data Portalに公開されました。 25GA2007_膜厚制御に向けたSU-8フォトレジストの温度・粘度・膜厚の計測内容：SU-8 3000シリーズは、マイクロ加工用の高粘度エポキシ系ネガ型フォトレジストで、厚膜微細構造を形成するために使われる。粘度には温度依存性があり、膜厚は粘度の１/2乗に比例することが知られている。MEMSやマイクロ流路では膜厚精度・アスペクト比の維持性が構造寸法に直結するため、安定した膜厚の再現性が歩留まり向上につながる。クリーンルーム環境（温度・湿度）、ボトルの経時変化が引き起こす日ごとの膜厚変動や季節変動に影響されることなく、膜厚を再現する目的で、温湿度・レジスト粘度を記録し一定条件下における回転数と膜厚の関係を測定し、スピンカーブとして示した。本検討では、ソフトベーク、 PEBおよびハードベーク行程が SU-8 膜厚に与える影響を評価するため、フォトレジスト（SU8 3025）に対して各ベーク後の膜厚測定を光干渉式膜厚測定装置（GA-016、シータメトリシス FR-Scanner-AIO-Mic-XY200）を用いて実施した。なお、別途モニターウエハ上に一部分クリーンテープを貼った状態でレジスト塗布を行い、テープ剥離後、各工程を行い、レジストの厚みを触針式表面形状測定器（GA-005 アルバック DektakXT）で測定した。その厚さを基準に光干渉式膜厚測定装置での測定パラメータ（Cauchy係数；屈折率ほか）の調整を行い、補正した膜厚データを得た。その結果、いずれの試料においても各ベーク後の膜厚変化は測定誤差の範囲内に留まり、ベーク工程による膜厚への顕著な影響は認められなかった DataSetリンク：SU-8 3005フォトレジストのスピンカーブ測定SU-8 3010フォトレジストのスピンカーブ測定SU-8 3025フォトレジストのスピンカーブ測定SU-8 3050フォトレジストのスピンカーブ測定使用機器リンク：スピンコーター、光干渉式膜厚測定装置、触針式表面形状測定器

ARIM Data Portal に香川大学のスタッフが取得したデータが公開されました

Web応募はこちらから募集情報業務内容募集の背景、プロジェクトの説明香川大学微細構造デバイス統合研究センターでは文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業の参画機関として、最先端研究設備の共用化と技術支援、利用データの収集と蓄積を行っています。詳しくは以下のWebサイトを確認ください。本事業の実施のため、研究設備の維持・管理、装置ユーザーに対する技術支援、事業に関わる事務作業を補助する学生スタッフを募集します。本事業は学内外の様々な研究者やスタッフが関わっています。その中で切磋琢磨することで、きっと将来につながる成長ができるでしょう。研究室配属の前に2年生のうちに最先端の研究に触れ、様々なスキルを獲得する絶好のチャンスです。文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業https://nanonet.go.jp/香川大学マテリアル先端リサーチインフラ事業https://www.kagawa-u.ac.jp/arim/募集人数：２～５名職務内容：文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ事業の実施に係る・実験装置利用補助・実験データ登録補助・研究用消耗品整理など時期5月1日以降できるだけ早い時期（相談に応じます）部署香川大学微細構造デバイス統合研究センター先端リサーチ連携推進室給与時給 : 1,060円（学内規定による）勤務時間就業時間 : 平日8:30-18:00の間で学業に支障がないように個別に調整します。（短時間の勤務でも可）募集要項応募資格学部２年生。以下のような思いがある方はぜひ応募してください。最先端の研究や研究設備に触れてみたいものづくりに興味がある研究に関するスキルを早く身につけたい研究に関わる様々な方と交流して成長したい着任後に指導しますので，経験や技術がなくても構いません。意欲をもって取り組む方、協調性の高い方、良好なコミュニケーションをとれる方を希望します．期間2027年3月31日まで（相談に応じます）勤務地〒761-0301 香川県高松市林町２２１７−１６香川県科学技術研究センター（FROM香川）メカトロ研究室〒761-0396 香川県高松市林町２２１７−２０香川大学林町キャンパス総合研究棟6階採用人数2~5名募集期間2026年04月09日~2026年04月30日必着適任者の採用が決まり次第，募集を締め切ります．応募方法Web応募（書類やメールでの応募は受け付けません）選考・結果通知選考内容提出されたWeb情報を基に選考の上，面接を行います．面接実施者については追って連絡をいたします．Web応募Formへ結果通知方法面接後10日以内に，メールで連絡をいたします．連絡先香川大学微細構造デバイス統合研究センター先端リサーチ連携推進室寺尾京平087-864-2346terao.kyohei@kagawa-u.ac.jp備考不明点は，上記メールアドレスに問い合わせてください。選考過程および採否の理由については一切お答えできません。提出された情報は，採用審査のみ使用します．

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フランス国立科学研究センター（CNRS）よりCatherine Villard 博士をお招きし、下記のとおり講演会を開催いたします。『Microfluidics as a Tool for Investigating Cell Pathfinding and Cell Mechanics』本講演では、マイクロ流体デバイスを用いた細胞の誘導・変形・力学評価について、病原真菌、微細藻類、循環がん細胞を例に、最新の研究成果をご紹介いただきます。皆様のご参加を心よりお待ちしております。■講師：Dr. Catherine Villard■開催日時：2026年4月24日（金）13:00～14:00■会場：香川大学林町キャンパス 6201室（〒761-0396 香川県高松市林町2217-20）■参加費：無料■参加申込：登録不要■共催：電気学会四国支部■詳細：以下のPDFファイルをご参照くださいPDF：Microfluidics as a Tool for Investigating Cell Pathfinding and Cell Mechanics■お問い合わせ先：国立大学法人香川大学微細構造デバイス統合研究センターE-mail：teraolab-sec-t@kagawa-u.ac.jp

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「自動接触角計 SImage AUTO 100（成形装置群）」を導入し、運用を開始しています。

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