傾斜型回転露光｜技術移転（j香川大学）

香川大学の微細加工技術を使ってみませんか？

香川大学が保有する微細加工技術の特許（下記）に関心がある企業様を探しております。
ご興味があれば、担当までご連絡ください。

　　　　　　　　　　　　　　　記

■特許番号：特許第5458241号
■発明の名称：微細構造体の作製方法
■発明の内容
本発明は傾斜型回転露光法に関するものです。
通常の露光法では、上方からの光により露光するので、試料の内部だけを露光して
孔（微細構造）を形成することは困難です。
本発明では、さまざまな方向からの光で露光して、試料の内部で光が重なり合う箇所のみ露光することにより
試料の内部に孔（微細構造）を形成することができます。

具体的な方法は、感光性樹脂の試料表面に第１のマスクパターンを密着させ
試料表面上方に（試料表面から離して）第２のマスクパターンを設置して
第１のマスクパターンを密着させた試料を、傾斜させて回転させながら露光します。

上述の手法によれば、以下のような複雑な孔構造を有する微細構造を加工できます。
また、本技術では、加工する事前にシミュレーションにより、ご要望の形状を加工できるか？を
判断できます。

ご興味をお持ちの方は是非、下記までご連絡ください。

香川大学　微細構造デバイス統合研究センター
〒761-0396　香川県高松市林町2217-20
TEL　087-864-2520
FAX　087-864-2537
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