香川大学
レーザーテック社 1LM21DW
利用目的
微細部品の表面形性状を観察するうえでの必須の設備
現在は，各種部品の表面性状の劣化の評価に活用しています
現在は，各種部品の表面性状の劣化の評価に活用しています
仕様
解像度：0.3μm(対物レンズ100倍）
フレームメモリ：映像用･Z軸用各１枚（900H×1024V×8bit）
表面形状測定範囲：0.1μm〜570μm
Z軸ステージ：ストローク（粗動26mm，微動±2mm）
フレームメモリ：映像用･Z軸用各１枚（900H×1024V×8bit）
表面形状測定範囲：0.1μm〜570μm
Z軸ステージ：ストローク（粗動26mm，微動±2mm）
取得年月日
平成10年3月27日
耐用年数
8年
