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当センターの先生が皆さまのご質問にお答えします。
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Question&Answer (皆さまからの質問の一部を掲載させていただいております。)
Q.MEMSって何ですか?
A.”Micro Electro Mechanical Systems”の略で、微細加工プロセスにより製造されたマイクロマシンです。主に半導体デバイスが基幹部品として用いられますが、ガラスや樹脂に微細(マイクロ)流路を加工したデバイスも含まれます。
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