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北御門研究室

キーワード
表面処理、PVD、機能性薄膜

 スパッタリング法は、物理的蒸着(PVD)の一種であり、プラズマを用いた高いエネルギーにより緻密な薄膜を形成する技術です。スパッタリング法により作製された薄膜は、耐摩耗性、撥水性、耐酸化性等、様々な表面機能を付与することが可能です。これらの表面機能は、ターゲット材に含まれる元素によって異なり、金色、青色、灰色など、材料固有の色を発現します。
 本研究室では、薄膜の材料となるターゲットの作製から、薄膜作製・評価を実施し、新たな表面機能を持つ新規性のある薄膜の開発を目指しています。


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▶グロー放電により発生したプラズマ

研究紹介-薄膜試料.jpg
▶スパッタリングにより蒸着した薄膜試料