香川大学
走査型プローブ顕微鏡
セイコーインスツルメンツ
利用目的
マイクロマシン研究にあたって、マイクロ形状の計測に、評価を用いるための設備として利用
仕様
取得年月日
平成14年10月7日
耐用年数
8年
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設置場所
FROM香川
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