| 部屋名 |
装置名 |
メーカー名 |
型式 |
クリーンルーム１
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シリコンDeep-RIE装置 |
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住友精密 |
Multiplex-ICP |
RIE装置（ドライエッチング装置） |
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SAMCO |
RIE-10NR |
両面マスクアライメント装置 |
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Union光学 |
PEM-800 |
レジストスピンコータ |
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Mikasa |
1H-DX2 |
スパッタ蒸着装置 |
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アネルバ |
L-3328-FH |
クリーンルーム２ |
低圧化学気相成長装置（LP-CVD） |
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samco |
LPD-1200 |
不純物拡散炉（Ｎ型・Ｐ型） |
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DSL |
VESTA-2100 |
シリコン熱酸化炉 |
|
DSL |
VESTA-2100 |
マスク描画室 |
フォトマスク描画装置 |
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HEIDELBERG INSTRUMENTS |
DWL-66-K1 |
走査電子顕微鏡（SEM） |
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JEOL |
JSM-6060KU |
イオンコータ |
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JEOL |
JFC-1600 |
デバイス評価室
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AFM 原子間力顕微鏡 |
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SII |
SOA400 |
三次元計測装置 |
|
三鷹光器 |
NH-3N |
ハイロックス顕微鏡 |
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HiROX |
KH-7700 |
| 部屋名 |
装置名 |
メーカー名 |
型式 |
クリーンルーム１
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電子線描画装置 |
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ELIONIX |
ELS-7500EX |
クリーンルーム２
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分析測定室
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触針式表面形状測定器Dektak |
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アルバック |
Decktak8 |
白色干渉形状測定装置Wyko |
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ﾌﾞﾙｶｰ･ｴｲｴｯｸｽｴｽ社 |
NT91001A |
ﾐﾂﾄﾖ粗さ測定器 |
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ミツトヨ |
SV-600 |
エリプソメータ（光学実験室） |
|
－ |
－ |
ウエハプローバー・アナライザ |
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ｶｰﾙ･ｽﾞｰｽ社 |
PM5 他 |
デバイス加工室
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ウェハダイシング装置 |
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DISCO |
DAD3220 |
ＮＣ加工機 |
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Roland |
MDX-40 |
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