香川大学　微細構造デバイス研究開発センター
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集積化 MEMS 技術研究会発足10周年記念シンポジウムで発表します。


高尾先生が集積化 MEMS 技術研究会発足10周年記念シンポジウムで発表します。

第 65 回 応用物理学会春季学術講演会 特別シンポジウム
集積化 MEMS 技術研究会発足10周年記念シンポジウム
「集積化 MEMS の発展と展望」

3月18日（日）、　早稲田大学（西早稲田キャンパス）

シリコン集積化 MEMS 技術による高解像度触覚センシング（香川大学　高尾英邦）

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